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工业气体在《常用危险化学品的分类及标识》（GB13690-1992）中，通常被划分为第2类压缩气体和液化气体。这类化学品系指压缩、液化或加压溶解的气体。气体经加压或降低温度，可以使气体分子间的距离大大缩小而被压入钢瓶中，这种气体成为压缩气体（如氧气、氮气、氩气、氢气等）。对压缩气体继续加压，适当降温，氩气价格，压缩气体就会变成液体的，称为液化气体（如液氨、液体二氧化碳等）。此外，还有一种性质极为不稳定的气体，加压后需溶于溶剂中储存在钢瓶内，这种气体称为溶解气体。
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，高纯氩气，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB， Valve Manifold Box)，而后再进程入制机台的使用点(POU， Point of Use)，氩气，更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB， Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP， Valve Manifold Panel)进行供应。
此类气体只要形成了可燃气体混合气和达到着火温度，便会发生燃烧事故，因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的低处。③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
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